設備振動規範
半導體廠與光電廠內的部份精密設備對於微振動敏感，所以設備商會提出精密設備的微振動規範需求，作為判斷精密設備是否適合安裝於樓板或基座上的參考依據。
例如: 某 設備振動規範以振動加速度值為依據
| 垂直方向 | 1. ~ 4.Hz 0.4 gal o-p 25 ~ 250Hz 8.0 gal o-p |
| 水平方向 | 1. ~ 4.Hz 0.13 gal o-p 25 ~ 250Hz 2.70 gal o-p |
例如: 某 設備振動規範以振動位移值為依據
| 1. Hz | 3.0 μm p-p |
| 2. Hz | 0.7 μm p-p |
| 3. Hz | 1.2 μm p-p |
| 4. Hz | 2.0 μm p-p |
| 5. Hz | 3.0 μm p-p |
| >10.Hz | 3.5 μm p-p |
例如: 某 設備振動規範以振動速度值為依據
| 0.6~1.00 Hz | 0.9 μm/s(RMS) |
| 1.0~ 625.Hz | 19. μm/s(RMS) |
例如: 某 設備振動規範以一般科技廠微振動規範VC-C為依據
| 精密設備安裝前，藉由微振動量測來確認樓板微振動值是否符合要求，可以確保精密設備安裝後能正常運轉。如果樓板或基座振動值過高，則可尋求結構改善 或 使用是適當的減振/隔振方式 |
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