案例說明
樓板振動問題
樓板振動問題是科技廠內最常見的振動問題，原因是樓板的自然振動頻率、剛性、慣性質量不足所致。一般科技廠房工程師常常誤以為樓板設計載重大的樓板、樓板振動值就會較小；樓板設計載重小的樓板、樓板振動值就會較大 。其實樓板設計載重的大小與樓板微振動值沒有直接關聯。
當科技廠的樓板振動問題被發現時，廠房已建造完成、無塵室已運轉。因此要由樓板結構補強施工來改善樓板微振設計不足常常為時已晚。處理方式大多只能在設備端或振動源端使用隔振或減振方式改善樓板振動值。有部份精密設備因為其機械運轉方式不能使用隔振或減振設備處理，在上述樓板振動值過高的狀態發生時就無法挽救了。
為避免樓板振動問題發生後而致無法挽救，大部分科技廠房於建廠結構設計階段就委託專業的微振動顧問公司，設計與評估廠房樓板的微振動設計值，並在建廠的各階段均檢測樓板微振動設計值是否符合需求?
確保數百億的建廠投資不會因忽略了樓板微振動控管的環節，而致不可彌補的損失。
幫浦、馬達、冰水機、管線等設備振動問題
一般科技廠內的轉動式機械設備(如幫浦、馬達、冰水機、風機)與管線均會被嚴格要求安裝隔振彈簧，並經設計與檢核，達到預期的隔振效果。如果科技廠內的轉動式機械設備與管線沒有作隔振，則這些設備將 會是被要求樓板微振動改善的第一個項目。
AGV 與 STOCKER 設備振動問題
AGV 與 STOCKER
是光電廠中常見的搬運設備，隨著光電廠的面板越做來越大，AGV與STOCKER也越來越大，同時也越來越重。因此AGV與STOCKER常常是光電廠中致命的振動源
，多數的精密設備會被要求遠離AGV與STOCKER。
少數精密檢測設備與修補設備因製程需求，必須安裝在AGV與STOCKER附近。因此設備樓板需做額外的補強，來減低AGV與STOCKER振動的影響。
Coater振動問題
光電廠的製程設備coater 為塗佈光阻液的精密設備，環境的微振動值過大時會導致光阻液塗佈厚度的不均勻，一般稱為mura。Mura的存在影響產品的品質。
本公司曾配合光電廠成功的尋找到製程設備coater的振動問題為防振基座剛性不足造成，並協助改善與補強防振基座剛性，減低
振動問題(mura)的影響。
精密量測儀器振動問題
科技電子材料的製程精密度高，常常需要精密量測設備來檢測產品的精度與良率。環境的微振動值過大時會導致精密量測設備無法完成量測或檢測的動作，影響產品檢測的時間或量測精度。
本公司曾配合科技廠成功的尋找到精密量測的振動問題為樓板剛性不足造成，並協助科技廠選擇適當的隔振基座，減低樓板振動對於精密量測設備的影響。
曝光機振動問題
曝光機常常是半導體廠或光電科技廠製程精度最高的設備。環境的微振動值過大時會導致曝光機無法正確定位或對焦，導致設備無法正常曝光或製程時間增加，影響產品良率或產能。
本公司熟悉各式曝光機設備的微振動規範，曾與科技廠配合在曝光機安裝前檢測設備樓板的自然振動頻率、振動值與作結構微振動模擬，成功預知樓板微振動設計等級不足
的問題，建議科技廠先處理樓板微振補強工程，成功的減低樓板振動對曝光機的影響。
本公司亦曾在某科技廠的曝光機安裝於樓板後，檢測出曝光機的振動問題是源於樓板受AGV與STOCKER的振動影響，進而建議科技廠 施工補強樓板結構，減低AGV與STOCKER對曝光機的振動影響。
連絡人: 呂俊龍 專案經理
地址 : 新北市樹林區中正路415號8樓之2
電話 : 886-2-29205518
傳真 : 886-2-29207867
Email: charles@vibtech.com.tw